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儀表，電子設(shè)備
電子設(shè)備
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技術(shù)文章/ article
thinksrs通用氣體分析儀UGA系列—多達(dá)300臺(tái)amu氣體分析儀
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操作原理
UGA系統(tǒng)使用兩級(jí)減壓入口在大氣壓下對(duì)氣體進(jìn)行取樣。在壓力降低到大約10-6托氣流被送至質(zhì)譜儀(殘余氣體
分析儀RGA ),該質(zhì)譜儀測(cè)量每種目標(biāo)質(zhì)量的濃度。
UGA視窗軟件提供了一個(gè)復(fù)雜的圖形和數(shù)據(jù)分析的圖形用戶界面。該軟件還允許遠(yuǎn)程控制系統(tǒng)的閥門、加熱器
和泵。
對(duì)于以下范圍內(nèi)的氣體取樣10-1到10-4托使用真空入口組件。只需將一個(gè)2 " CF to "管適配器連接到一個(gè)CF端口，
并根據(jù)入口壓力調(diào)整管的長(zhǎng)度。
UHV應(yīng)用程序可以直接訪問RGA(<10-4托)。真空入口組件的任何2 " CF端口都可以用來(lái)連接到您的真空室。
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更新時(shí)間：2023-10-30 
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